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特点：光学共焦显微测量技术;非接触、高精度、性价比高;纳米量级测量精度;动态测量范围：nm ~ mm
² 激光频率调制，抗震性能优越
【应用案例1】 闪耀光栅表面测量
周期6.6~6.8um，刻痕800~900nm
① 刚性、非避震光学平台；
② 动态测量范围nm~mm量级；
² 参考光强校正，稳定性显著提升
【应用案例2】 SIM卡表面测量
相比较传统共焦测量，稳定性提升1倍
① 三维立体重建（mm量级）；
② 表面纹理反演（nm量级）；
