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真空紫外光谱仪
波长范围（nm） 光谱分辨率（nm） 焦距(mm) 型号 扫描 阵列探测器 成像 真空 超高真空 光谱仪光学设计
30 to 2,200 0.1 200 Monarch ● ● ●   ● 凹面像差矫正
30 to 1200 0.05 500 235 ● ● ●   ● SN结构
105 to 20,000 0.04 670 207V ● ● ● ● ● CT结构
30 to 1,200 0.015 1,000 225 ● ● ● ● ● 自聚焦正入射式
105 to 20,000 0.01 1,330 209V ● ● ● ● ● CT结构
30 to 250 0.005 3,000 2253 ● ● ● ● ● 自聚焦正入射式