LZU系列超高真空兼容性直线运动模组可以为几公斤的负载提供长行程直线位移。高精度滚珠导轨适用于扭转载荷较小的简单复合机构中。平滑的运动由高精度滚珠丝杆搭配精密滚珠螺母提供，以确保良好的位置稳定性，并包含预加载丝杆螺母以消除齿隙。传动部分配合低饱和蒸气压润滑脂，使运动更加平滑且不对真空度造成影响。驱动方式采用真空步进电机，可选择安装限位开关或脉冲信号位置控制方式。产品采用超高压兼容材料和加工方法，避免材料对使用环境造成的影响。