• 120、220 和 320 AMU 系统

• 内置I/O端口、继电器和GPIO

• 轻松的峰值调谐

• 5 x 10-14Torr 检测限

• 新的 RGASoft Windows 软件

• 混合静电计，提高基线灵敏度

• USB、RS-232 和以太网接口

RGA120 系列残余气体分析仪

SRS 的 120、220 和 320 amu 残余气体分析仪具有卓越的性能和价值。这些 RGA 提供真空系统的详细气体分析，价格约为竞争型号的一半。每个 RGA 系统都配有一个四极杆探头、电子控制单元 （ECU） 和一个用于数据采集和分析以及探头控制的实时 Windows 软件包。

坚固的探头设计

Continuous Dynode Electron Multiplier

该探头由电离器、四极杆质量过滤器和检测器组成。简单的设计具有少量部件，可最大限度地减少释气并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用，可安装在标准 2.75“ Conflat 法兰上。它封装在不锈钢管中，但离子发生器在真空系统中只需要 2.5 英寸的间隙，大约是标准离子真空计的间隙。探头采用自对准部件设计，因此在清洁后可以很容易地重新组装。

紧凑型电子控制单元

密集封装的 ECU 包含控制 RGA 头所需的所有电子元件。它由外部 +24 VDC （2.5 A） 电源或插入交流电源插座的可选内置电源模块供电。LED 指示灯提供有关电子倍增器、灯丝、电子系统和探头状态的即时反馈。ECU 可以很容易地从探头上拆下，以进行高温烘烤。

独特的耗材设计

长寿命双钍铱 （ThO2/Ir） 细丝用于电子发射。双 ThO2/红外细丝的使用寿命比单丝长得多，最大限度地延长了更换细丝之间的时间。与其他设计不同，用户可以在几分钟内更换 SRS 细丝。改进的灯丝保护功能可在开启灯丝之前检查工艺压力。

双 ThO2/红外灯丝

Continuous Dynode Electron Multiplier

法拉第杯检测器是 SRS RGA 的标准配置，允许从10-5至 5 × 10-11托.为了提高灵敏度和更快的扫描速率，提供了可选的电子倍增器，可检测低至5 × 10-14托.这种最先进的宏多通道连续倍增电极电子倍增器 （EM） 提供了更长的使用寿命和稳定性，并且也可以由用户替换。

自动峰值调整

使用动态 RF 谐振频率跟踪的高效 RF 生成来提供更大的质量范围。它还支持使用独立的 RF/DC 控制进行自动峰值调谐，同时将扫描速度提高到 130 AMU/s（260 AMU/s，每个 AMU 10 个点）。

新型混合静电计

动态范围更宽的混合静电计可用作低电流 （<1 nA） 的线性放大器和较高电流（高达 2 uA）的对数放大器。在低电流值或负电流值下，线性模式可提高基线灵敏度

这款温度补偿混合对数静电计可检测来自10-7到 10-15安培在单次扫描中，精度优于 2%。这个巨大的动态范围意味着您可以同时测量小浓度和大浓度的气体。

加热器护套

内置 I/O

丰富的输入/输出连接集提供对 RGA 的监控和控制，并支持外部过程控制。包括一个外部扫描触发器、一个基于可配置事件的继电器、GPIO 和一个用于扫描期间温度监控的 RTD 输入。模拟输出提供与任何扫描变量成比例的信号，包括分压。

完整的可编程性

通过 USB、以太网或 RS-232 接口与计算机进行通信。模拟和直方图 （bar） 扫描、泄漏检测和探头参数都通过广泛的 SCPI 命令集进行控制和监控。这允许轻松集成到现有程序中。

RGASoft Windows 软件

压力与时间模式

包括一个全新的 RGASoft Windows 应用程序。凭借丰富的功能集和现代 UI 设计，可以实时捕获和显示扫描数据，或安排在给定的时间间隔内采集数据以进行长期数据记录。多个光谱数据和单个测量值可以一起收集在一个序列中。多功能停靠窗口和小部件为用户提供了多种方式来组织显示。数据可以手动或自动缩放，在图上以线性或对数格式缩放。单位可在 Torr、Bar、Pascal 和 Amp 之间选择。功能包括常用气体标签、可编程音频和视频警报、可扩展库、成分分析和全面的在线帮助。

该软件还允许通过简单的质量刻度调整、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整来实现完整的 RGA 控制。为了进一步分析，数据文件可以保存为 CSV 文本格式，以便轻松传输到电子表格中。图形图像可以保存为常见格式（PNG、BMP、TIFF、JPG、SVG、PDF）或复制到剪贴板以直接导入其他程序。

当需要多个 RGA 时，该软件支持多头操作。可以控制多个 RGA 并与多个软件实例同时运行。RGA 的数量仅受系统资源的限制。

模拟模式

性能和价值

新型 RGA120 系列非常适合涉及气体分析、泄漏检测和真空处理的应用。我们提供 120、220 和 320 amu 系统，并提供支持 Windows 软件，以及包括电子倍增器和用于交流线路操作的内置电源模块的选项。RGA Windows 软件可从 SRS 网站下载。

RGA120 尺寸图