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PPR系列过程检测系统

PPR系列过程检测系统

·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口压力

·3 × 10 -5  Torr-L/s 流量

·2 秒响应时间 (0.1 Torr)

·100、200 或 300 amu 系统

·6个数量级的动态范围

·RGA Windows 软件


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商品描述

·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口压力

·3 × 10 -5  Torr-L/s 流量

·2 秒响应时间 (0.1 Torr)

·100、200 或 300 amu 系统

·6个数量级的动态范围

·RGA Windows 软件


PPR 系列过程监控系统

PPR 过程监控系统专为在线过程监控和诊断而设计。为残余气体分析仪 (RGA) 提供了两条路径：用于监测基础真空的高电导率路径和用于在工作压力下监测过程的减压路径。减压路径包含一个微孔，设计用于在以下压力之一下运行：0.01、0.1、1 或 10 托。它将样品压力降低到 RGA 的工作压力（约10-6 Torr）。该压降由由混合涡轮分子泵和隔膜泵组成的泵送系统维持。两个泵都是无油的，不会污染您的过程。

连接到您的工艺室的入口组件可以通过多种方式进行配置（参见图纸）。该系统包括 RGA、旁通阀组件和三通、控制器、涡轮泵、隔膜泵和用于数据采集和控制的 Windows 软件程序。

该软件用于在各种模式下操作仪器，包括模拟扫描、直方图模式和压力与时间模式。法拉第杯和电子倍增器探测器都是 PPR 系统的标准配置。电子倍增器提供额外的灵敏度和更高的扫描速度。PPR 系统在出厂时已完全组装和校准，可以连接到您的真空处理室。

几何A

几何 B



PPR 规格

表现

气体流量3 × 10 -5 mbar-L/s，减压入口处于活动状态
响应时间0.1 mbar 入口压力下 2 秒（随压力成线性比例）
启动时间标称 8 分钟

连接

进口2.75" CF法兰，带通孔可旋转
涡轮泵到控制器6 英尺电缆（已提供）
涡轮增压到前级泵6 英尺软管（提供），
1/4" ID × 7/16" OD
电脑接口RS-232C（28,800 波特，9 针 D 连接器）
软件RGA Windows 应用程序

泵

高真空混合涡轮分子/阻力泵，70 L/s，
极限压力2 × 10 -9  mbar
后盾极限压力小于 1 mbar 的隔膜泵。防护等级 IP44
冷却需要强制风冷

一般的

电源要求110 VAC @ 60 Hz，
220 VAC @ 50 Hz
（不可现场选择，300 W）
方面因配置而异
（请参阅示例配置）
重量16 磅。（涡轮泵、旁通阀和三通，RGA）
33 磅。（隔膜泵和控制器）
保修单一年零件和人工材料或工艺缺陷。泵密封件和隔膜的保修期为 90 天。


PPRc.pdf