QMS 系列气体分析仪为广泛的应用提供高效、经济的解决方案。这些质谱仪简化了在线过程监测、气体种类分析、泄漏检测和故障排除的任务。
在线监测
QMS 系统可以以每分钟几毫升的流速连续采样气体。入口可配备在 1 bar 至 10 mbar 的压力下进行采样。与气相色谱仪采用的批量采样相反，数据是连续采集的。QMS 的快速响应时间不到 0.5 秒。可以在几秒钟内记录完整的光谱，并且可以以高达每秒 25 个点的速率测量单个质量。
紧凑、用户友好的设计
 模拟模式 |
先进的四极质谱仪设计与最先进的泵送技术相结合，使整个系统可以集成在一个小型、可移动的包装中。采样入口阀和泵可以从前面板控制。操作简单，不需要详细了解四极杆或减压入口。由于泵不含油或其他液体，因此重力对它们没有影响，这使得该装置可以直立或侧放运行。毛细管用作采样探针，有多种材料和尺寸可供不同应用使用。
工作原理
QMS 使用两级减压入口进入高压样气。这允许使用残留气体分析仪（在高真空下运行）作为检测器。不同的毛细管允许系统在更高或更低的压力下取样。大流量通过毛细管，使压力下降了三个十年。混合涡轮分子/阻力泵通过孔吸入少量气体，将压力降低到约10 -6 Torr，而大部分流量直接绕过隔膜泵。电磁阀控制气流。整个系统由微处理器控制，确保泵和阀门的正确操作。该软件管理光谱仪并以六种不同模式选择采集数据。可选的高真空 2.75" CF 端口提供对 RGA 的直接访问。
旁路流配置
 压力与时间模式 |
旁通流和样品流在隔膜泵处重新组合，这使得仅使用一个前级泵成为可能。这有助于系统的小尺寸。旁通流配置对于 QMS 的快速响应时间也很重要。使用泄漏阀的单级减压会导致极小的流速和不合理的长采样时间。另一方面，旁路流量从毛细管尖端到 RGA 室的响应时间不到 0.5 秒。
视窗软件
QMS 系统由在 PC 上运行的 Windows 软件包支持。直观的图形用户界面允许快速轻松地进行测量。实时捕获和显示数据，或按指定时间间隔安排采集数据。功能包括模拟和直方图扫描模式、压力与时间图、泄漏检测、信号器模式、气体库、音频和视频警报以及全面的在线帮助。探头参数也可以通过高级 ASCII 命令集进行控制和监视，该命令集可以轻松集成到用户控制程序中。标准RS-232接口用作与主机的数据链路。LabVIEW 驱动程序也可用。
